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聲表面濾波器材料

來源:http://www.ljnshy.cn 作者:dgkjly 2012年05月14
聲表面濾波器材料
聲表面波器件用的壓電基片的必備條件
    已知的聲表面波器件所用的壓電基片有壓電單晶、壓電薄膜和壓電陶瓷,對這些材料的共同要求大體如下:
   (1)為了能形成叉指電極,必須有盡可能良好的表面,希望平面度最好在數(shù)微米(μm)以下.
   (2)為了提高換能效率,要求其機(jī)電耦合系數(shù)盡可能地高,k²值必須在0.5%以上,最好是2%以上。
   (3)傳播損耗要小,希望其值在0.2dB/λ以下。
   (4)傳播速度的溫度系數(shù)要小,但不一定必須在使用溫度范圍內(nèi)為常量,其變化幅度在200ppm以內(nèi)即符合要求,作為圖像中頻(VIF)濾波器所用的材料,則應(yīng)在25ppm/℃以下為宜。
   (5)重復(fù)性要好,可靠性要高,且適于批量生產(chǎn),即使基片價格不高,但如果缺乏重復(fù)性,也就失去其優(yōu)越性。
   (6)成本要低。

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